热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。

热式气体质量流量计虽然有很多的优势，但也有缺点，比如：只能测量干燥的气体，如果气体内含有较大水汽，示值将偏大，初步的判断标准是管道内不会形成凝结水的气体均可以测量；气体组分变化频繁且测量精度要求高的气体不适合测量；气体内粉尘含量较高且测量精度要求高的气体不适合测量。

热式气体质量流量计具有以下特点：

(1)直接测量气体质量流量，精度达到±1.0%F·S；

(2)重复性达到±0.2%F·S；

(3)量程比达到100∶1；

(4)热式气体质量流量计压损极小，150mm内径以上压损可以忽略；

(5)一个过程连接，标定时已做好温压补偿，无须额外的温度、压力变送器及对应的补偿；

(6)插入式安装，双卡套锁紧连接方式，内部无可动部件，基本免维护；

(7)管道震动对仪表性能影响非常小；

(8)可带球阀安装，省去旁路管道及相应的阀门；

(9)前后直管段要求低，管道式只需1D前直管段；

(10)自带免费仪表通讯软件，方便对仪表微调；